System and method for processing silicon wafers

WO2023203035 Art A1 26. Oktober 2023

Anmelder: SILTRONIC AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023203035
Aktenzeichen: EP23720820
Anmeldetag: 18. April 2023
Veröffentlichung: 26. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01B21/30B28D5/04H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SILTRONIC AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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