State detection device, state detection method, learning model generation method, and computer program

WO2023204183 Art A1 26. Oktober 2023

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023204183
Aktenzeichen: EP23791831
Anmeldetag: 17. April 2023
Veröffentlichung: 26. Oktober 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G05B23/02G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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