Laser-sustained plasma source based on colliding liquid jets
WO2023205064
Art A1
26. Oktober 2023
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023205064
- Aktenzeichen
- EP23792369
- Anmeldetag
- 17. April 2023
- Veröffentlichung
- 26. Oktober 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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