System and method for improving image quality during inspection

WO2023208496 Art A1 2. November 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023208496
Aktenzeichen: EP23714554
Anmeldetag: 28. März 2023
Veröffentlichung: 2. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G06T5/00G06T5/50G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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