Verfahren zur Vermessung der Beleuchtungspupille in einem Scanner unter Berücksichtigung eines Messretikels

WO2023208526 Art A1 2. November 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023208526
Aktenzeichen: EP23716840
Anmeldetag: 3. April 2023
Veröffentlichung: 2. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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