Device for initializing elastic film, polishing device, method for initializing elastic film, and method for assessing service life of elastic film
WO2023210073
Art A1
2. November 2023
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023210073
- Aktenzeichen
- EP23795822
- Anmeldetag
- 20. Januar 2023
- Veröffentlichung
- 2. November 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B24B37/005B24B37/30B24B41/06B24B49/12H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
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Vertreten von
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