Flowrate control unit for temperature adjustment and semiconductor manufacturing device

WO2023210257 Art A1 2. November 2023

Anmelder: CKD CORPORATION, TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023210257
Aktenzeichen: EP23796004
Anmeldetag: 31. März 2023
Veröffentlichung: 2. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683G05D23/19H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CKD CORPORATION
TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 CKD

CKD ist ein japanischer Hersteller von Automatisierungs-, Pneumatik- und Verpackungstechnik mit Sitz in Komaki. Das Patentportfolio betrifft Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, insbesondere Ventile und Fördersysteme. Die Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2025.

262 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von