Microwave annealer for semiconductor wafers

WO2023212325 Art A1 2. November 2023

Anmelder: CORNELL UNIVERSITY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023212325
Aktenzeichen: EP23797356
Anmeldetag: 28. April 2023
Veröffentlichung: 2. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H05B6/70H01L21/263H01L21/67H05B6/64H05B6/72H01L21/324

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CORNELL UNIVERSITY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cornell University

Die Cornell University ist eine private Universität in Ithaca, New York (USA), die in Forschung und Lehre über zahlreiche natur- und ingenieurwissenschaftliche Fachrichtungen aktiv ist.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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