Chemical mechanical polish process method and device

WO2023212981 Art A1 9. November 2023

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023212981
Aktenzeichen
EP22940675
Anmeldetag
16. Mai 2022
Veröffentlichung
9. November 2023
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/04B24B37/10B24B37/34B24B55/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

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