Radiation tolerant detector architecture for charged particle detection

WO2023213500 Art A1 9. November 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023213500
Aktenzeichen: EP23717564
Anmeldetag: 10. April 2023
Veröffentlichung: 9. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01T1/24G01N23/00G01V5/00H01L23/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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