Druckmindereinheit und Euv-Lithographiesystem

WO2023213571 Art A1 9. November 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023213571
Aktenzeichen: EP23721658
Anmeldetag: 21. April 2023
Veröffentlichung: 9. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: F15D1/02F15B21/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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