In-situ lithography pattern enhancement with localized stress treatment tuning using heat zones

WO2023215069 Art A1 9. November 2023

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023215069
Aktenzeichen: EP23799799
Anmeldetag: 7. April 2023
Veröffentlichung: 9. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/302

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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