Systems and methods for projecting adjustable interference fringes

WO2023215268 Art A1 9. November 2023

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023215268
Aktenzeichen: EP23726769
Anmeldetag: 2. Mai 2023
Veröffentlichung: 9. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: B23K26/0622B23K26/06B23K26/067B23K26/362

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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