Six-degree-of-freedom grating displacement measurement system for lithography machine

WO2023216545 Art A1 16. November 2023

Anmelder: TSINGHUA UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023216545
Aktenzeichen: EP22941480
Anmeldetag: 18. November 2022
Veröffentlichung: 16. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/03

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TSINGHUA UNIVERSITY
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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