Photolithography method for preparing semiconductor vertical cross-sectional structure

WO2023217243 Art A1 16. November 2023

Anmelder: XIAMEN UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023217243
Aktenzeichen: EP23803012
Anmeldetag: 11. Mai 2023
Veröffentlichung: 16. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/00G03F7/20G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: XIAMEN UNIVERSITY
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Xiamen University

Die Xiamen University ist eine chinesische Universität mit breiter naturwissenschaftlicher Forschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik, organische Chemie und Pharma beziehungsweise Biotechnologie, ergänzt um Mess- und Prüftechnik sowie Kunststofftechnik. Anmeldungen laufen durchgehend von 2000 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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