Discharge electrode, method for producing anode, and method for producing electronic device
WO2023218548
Art A1
16. November 2023
Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023218548
- Aktenzeichen
- EP22941629
- Anmeldetag
- 11. Mai 2022
- Veröffentlichung
- 16. November 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01S3/038
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- GIGAPHOTON INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Gigaphoton
Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.
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