Machining optical system, machining apparatus, method for forming interference pattern, and machining method

WO2023218579 Art A1 16. November 2023

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023218579
Aktenzeichen: EP22941659
Anmeldetag: 11. Mai 2022
Veröffentlichung: 16. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: B23K26/067B23K26/082B23K26/364

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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