Film forming device and film forming method
WO2023218990
Art A1
16. November 2023
Anmelder: NISSIN ELECTRIC CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023218990
- Aktenzeichen
- EP23803469
- Anmeldetag
- 27. April 2023
- Veröffentlichung
- 16. November 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05H1/46C30B29/04C23C16/27C23C16/505H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NISSIN ELECTRIC CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nissin Electric
Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.
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