Angle Control For Neutral Reactive Species Generated in A Plasma

WO2023220299 Art A1 16. November 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023220299
Aktenzeichen: EP23804273
Anmeldetag: 11. Mai 2023
Veröffentlichung: 16. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/147H01J37/08H01J37/305H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von