Virtual Semiconductor Fab Environment

WO2023220680 Art A1 16. November 2023

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023220680
Aktenzeichen: EP23804510
Anmeldetag: 11. Mai 2023
Veröffentlichung: 16. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67G02B27/01G06F11/34G06T15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von