Analysis of multi-run cyclic processing procedures

WO2023220931 Art A1 23. November 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023220931
Aktenzeichen: EP22941973
Anmeldetag: 17. Mai 2022
Veröffentlichung: 23. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G05B19/418G06F17/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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