Conical Pocket Laser-Sustained Plasma Lamp

WO2023224891 Art A1 23. November 2023

Anmelder: KLA CORPORATION, USHIO INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023224891
Aktenzeichen
EP23808118
Anmeldetag
15. Mai 2023
Veröffentlichung
23. November 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01J65/04G01N21/21H01J61/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
KLA CORPORATION
USHIO INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

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