Pulsed lasers and methods of operation

WO2023227277 Art A1 30. November 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023227277
Aktenzeichen
EP23716255
Anmeldetag
29. März 2023
Veröffentlichung
30. November 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01S3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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