Beleuchtungssystem, Projektionsbelichtungsanlage und Projektionsbelichtungsverfahren

WO2023227396 Art A1 30. November 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023227396
Aktenzeichen: EP23724876
Anmeldetag: 15. Mai 2023
Veröffentlichung: 30. November 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B27/09G02B5/09G02B27/10G02B17/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von