Method for producing ground wafer and method for producing wafer

WO2023228787 Art A1 30. November 2023

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023228787
Aktenzeichen
EP23811661
Anmeldetag
12. Mai 2023
Veröffentlichung
30. November 2023
Rechtsraum
WO
IPC
B24B41/06B24B7/22H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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