Method for determining a failure event on a lithography system and associated failure detection module

WO2023232360 Art A1 7. Dezember 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023232360
Aktenzeichen: EP23721948
Anmeldetag: 28. April 2023
Veröffentlichung: 7. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G05B23/02G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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