System and method for distortion adjustment during inspection

WO2023232382 Art A1 7. Dezember 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023232382
Aktenzeichen: EP23724285
Anmeldetag: 4. Mai 2023
Veröffentlichung: 7. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00H01J37/147H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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