Method for aligning an illumination-detection system of a metrology device and associated metrology device

WO2023232397 Art A1 7. Dezember 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023232397
Aktenzeichen: EP23723950
Anmeldetag: 9. Mai 2023
Veröffentlichung: 7. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F7/20G01N23/201

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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