Projection lens, projection exposure apparatus and projection exposure method

WO2023232767 Art A1 7. Dezember 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023232767
Aktenzeichen: EP23730735
Anmeldetag: 30. Mai 2023
Veröffentlichung: 7. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G02B13/14G02B13/22G02B13/24G02B9/60G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von