Recipe creating system, length measurement system, and recipe creating method

WO2023233492 Art A1 7. Dezember 2023

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023233492
Aktenzeichen
EP22944781
Anmeldetag
30. Mai 2022
Veröffentlichung
7. Dezember 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G01B15/04H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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