Resistivity measurement method

WO2023233834 Art A1 7. Dezember 2023

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023233834
Aktenzeichen
EP23815596
Anmeldetag
13. April 2023
Veröffentlichung
7. Dezember 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66G01N27/00G01N27/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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