Removal Of Metal Salt Precipitates in an Electroplating Tool

WO2023235099 Art A1 7. Dezember 2023

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023235099
Aktenzeichen: EP23816534
Anmeldetag: 3. Mai 2023
Veröffentlichung: 7. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H05K3/18C09D7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe

Vertreten von