Optical sensor for remote temperature measurements

WO2023235192 Art A1 7. Dezember 2023

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023235192
Aktenzeichen: EP23816576
Anmeldetag: 24. Mai 2023
Veröffentlichung: 7. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01J5/00G01J5/0802G01J5/0806G01J5/0821G01J5/08G01J5/10H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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