Monitoring of acoustic events on a substrate

WO2023235582 Art A1 7. Dezember 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023235582
Aktenzeichen: EP23816806
Anmeldetag: 2. Juni 2023
Veröffentlichung: 7. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: B24B49/00B24B47/12B24B37/005

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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