Multi-Wavelength Shadowgraphy For an Euv Radiation Source

WO2023237313 Art A1 14. Dezember 2023

Anmelder: STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK I, STICHTING VU, UNIVERSITEIT VAN AMSTERDAM, RIJKSUNIVERSITEIT GRONINGEN, ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023237313
Aktenzeichen: EP23727377
Anmeldetag: 17. Mai 2023
Veröffentlichung: 14. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK I
STICHTING VU
UNIVERSITEIT VAN AMSTERDAM
RIJKSUNIVERSITEIT GRONINGEN
ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 Rijksuniversiteit Groningen

Die Rijksuniversiteit Groningen ist eine niederländische Universität mit breiter medizinischer und naturwissenschaftlicher Forschung. Ihr Patentportfolio deckt Medizintechnik, organische Chemie sowie Pharma- und Biotechnologie ab.

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🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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