Improved leak detection method and associated device

WO2023237338 Art A1 14. Dezember 2023

Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023237338
Aktenzeichen
EP23729672
Anmeldetag
24. Mai 2023
Veröffentlichung
14. Dezember 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G01M3/22G01M3/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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