Electron-optical device

WO2023237667 Art A1 14. Dezember 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023237667
Aktenzeichen
EP23733225
Anmeldetag
8. Juni 2023
Veröffentlichung
14. Dezember 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/09H01J37/02H01J37/15H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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