Method for producing ruthenium thin film or ruthenium compound thin film by chemical vapor deposition process, and ruthenium thin film or ruthenium compound thin film

WO2023238808 Art A1 14. Dezember 2023

Anmelder: RESEARCH COOPERATION FOUNDATION OF YEUNGNAM UNIVER, TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023238808
Aktenzeichen: EP23819788
Anmeldetag: 5. Juni 2023
Veröffentlichung: 14. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/18C23C16/16H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: RESEARCH COOPERATION FOUNDATION OF YEUNGNAM UNIVER
TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇯🇵 Tanaka Kikinzoku Kogyo

Tanaka Kikinzoku Kogyo ist ein japanisches Unternehmen für Edelmetallverarbeitung mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Fertigungs- und Verfahrenstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2023 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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