Calibration method and apparatus

WO2023241867 Art A1 21. Dezember 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023241867
Aktenzeichen: EP23723602
Anmeldetag: 12. Mai 2023
Veröffentlichung: 21. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G01B11/06G01B11/14G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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