Systems and methods of defect detection by voltage contrast imaging

WO2023241870 Art A1 21. Dezember 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023241870
Aktenzeichen: EP23725251
Anmeldetag: 15. Mai 2023
Veröffentlichung: 21. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G01N21/956G01R31/307H01L21/66H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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