Method for compensating actuator effects of actuators

WO2023241878 Art A1 21. Dezember 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023241878
Aktenzeichen: EP23726405
Anmeldetag: 17. Mai 2023
Veröffentlichung: 21. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00H10N30/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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