Verfahren zum Beschichten eines Spiegelsubstrats mit einer für Nutz-Wellenlängen Hochreflektierenden Mehrlagen-Beschichtung sowie Beschichtungsanlage zur Durchführung eines Derartigen Verfahrens

WO2023241992 Art A1 21. Dezember 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023241992
Aktenzeichen: EP23731216
Anmeldetag: 6. Juni 2023
Veröffentlichung: 21. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/14C23C14/34C23C14/50C23C14/52C23C14/54C23C14/56G02B5/08G01B11/06H01J37/32H01J37/34G01N21/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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