Transmission charged particle beam device and ronchigram imaging method

WO2023243063 Art A1 21. Dezember 2023

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023243063
Aktenzeichen: EP22946879
Anmeldetag: 16. Juni 2022
Veröffentlichung: 21. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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