Wafer assessing method, assessing program, assessing device, wafer manufacturing method, and wafer
WO2023243253
Art A1
21. Dezember 2023
Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023243253
- Aktenzeichen
- EP23823556
- Anmeldetag
- 2. Mai 2023
- Veröffentlichung
- 21. Dezember 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/956G06T7/00H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMCO CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumco
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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