Wafer assessing method, assessing program, assessing device, wafer manufacturing method, and wafer

WO2023243253 Art A1 21. Dezember 2023

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023243253
Aktenzeichen
EP23823556
Anmeldetag
2. Mai 2023
Veröffentlichung
21. Dezember 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/956G06T7/00H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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