Cyclic film deposition using reductant gas

WO2023244439 Art A1 21. Dezember 2023

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023244439
Aktenzeichen: EP23824413
Anmeldetag: 31. Mai 2023
Veröffentlichung: 21. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/34C23C16/455C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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