Tab arrangement for retaining support elements of substrate support

WO2023244497 Art A1 21. Dezember 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023244497
Aktenzeichen
EP23824445
Anmeldetag
8. Juni 2023
Veröffentlichung
21. Dezember 2023
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/687H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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