Ultraviolet photoresist, and ultraviolet photoresist patterning method and use

WO2023246243 Art A1 28. Dezember 2023

Anmelder: TSINGHUA UNIVERSITY, BEIJING VFORTUNE NEW ENERGY POWER TECHNOLOGY DEVEL 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023246243
Aktenzeichen: EP23825898
Anmeldetag: 11. April 2023
Veröffentlichung: 28. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TSINGHUA UNIVERSITY
BEIJING VFORTUNE NEW ENERGY POWER TECHNOLOGY DEVEL
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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