Method and apparatus for determining a physical quantity

WO2023247125 Art A1 28. Dezember 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023247125
Aktenzeichen: EP23727604
Anmeldetag: 23. Mai 2023
Veröffentlichung: 28. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F7/00G03F9/00G01M11/02G01J9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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