Pre-wetting module and pre-wetting method

WO2023248416 Art A1 28. Dezember 2023

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023248416
Aktenzeichen: EP22947977
Anmeldetag: 23. Juni 2022
Veröffentlichung: 28. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C25D17/00H01L21/288H01L21/304H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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