Sensing device and sensing method

WO2023248686 Art A1 28. Dezember 2023

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023248686
Aktenzeichen: EP23826874
Anmeldetag: 23. Mai 2023
Veröffentlichung: 28. Dezember 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01S7/481G01C3/06G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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